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可能原因：供水量过大导致电机超载；电机缺相；排气孔堵塞；叶轮拖动其他部件。

(1)在正常的工作中要注意检查轴承的工作和润滑情况，其温度(轴承和外圆处)比环境温度一般高出15℃～20℃为宜，***1高不允许超过30℃～35℃，贝克真空泵代理，即轴承架外圆处实际温度不应超过55℃～60℃；正常工作的轴承每年应加油3～4次，每年至少清洗轴承一次，并将润滑油全部更换。

广州捷恩机电科技有限公司，主要经营进口真空泵及原装和OEM件的真空泵配件及真空泵油，品牌为：德国BECKER贝克、德国BUSCH普旭(博世)、德国LEYBOLD莱宝(来宝)、德国RIETSCHLE伟力，英国比欧西(爱德华)、法国ALCATEL阿尔卡特、日本ORION好利旺、日本ULV***爱发科、意大利DVP等的真空泵油及配件。

由于小型化高转速直联式旋片泵问世，市场上又匆匆发布了'直联高速真空泵油'。该油当时工业生产技术信息环境限制下，除了在极限真空有所提升外，其余各项理化技术信息指数都没有较大改善。作为过渡时期产品，它存在有一定意义，贝克真空泵维修，但真正作为'直联式高速真空泵油'来说，它有着不可克服漏洞。

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由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。

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