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发布时间：2020-05-05 23:22:23
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| 真空泵的工作压强 | 真空泵的工作压强单位是Pa，它是指对应抽气量 的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。 | ||||
| 真空泵的压缩比 | 压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。 | ||||
| 真空泵的何氏系数 | 泵抽气通道面积上的实际抽速 与该处按分子泻流计算的理论抽速 之比。 | ||||
| 真空泵的抽速系数 | 泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。 | ||||
| 真空泵的返流率 | 泵的返流率 单位是g/cm2.s。它是指 泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。 | ||||
| 水蒸气允许量 | 水蒸气 的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵 在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。 | ||||
| 允许水蒸气入口压强 |
允许水蒸气入口压强 单位是Pa。它是指 在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的入口压强。
真空的定义 真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态 真空度 处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。 真空度单位 通常用托（Torr）为单位，国际上取用帕（Pa）作为单位。 1托=1/760大气压=1毫米柱 托与帕的转换 1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3托 平均自由程 作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。
真空蒸镀 在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，或叫真空镀膜。 真空干燥 利用真空环境下沸点低的特点来干燥物品的方法。 真空系统常用名称 ①主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。 ②前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。 ③粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。
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