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分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，普旭真空泵销售，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的***。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。

国外干泵市场的不断增长，普旭真空泵销售价格，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，普旭真空泵销售厂家，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，普旭真空泵销售报价，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。

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泵的基本参数

泵主要性能的基本参数有以下几个：

1、流量Q
流量是泵在单位时间内输送出去的液体量（体积或质量）。
体积流量用Q表示，单位是：m3/s，m3/h，l/s等。
质量流量用Qm表示，单位是：t/h，kg/s等。
质量流量和体积流量的关系为：
Qm=ρQ
式中ρ——液体的密度（kg/m3，t/m3），常温清水ρ=1000kg/m3。

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真空泵的选择及抽速计算

（1）计算真空泵的有效抽速S (L/s)。

根据真空系统要求的工作压力pg、真空系统的总气体量Q，计算泵的有效抽速

S＝Q/pg

式中，Q为真空系统的总气体量，Pa. L/s，包括真空系统工作过程中产生的气体量、真空系统及真空元件的放气量和真空系统的总漏气量。

通常将按此式计算出的有效抽速S增大20%~30%或更大作为主泵的名义抽速。

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