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发布时间:2020-07-27 06:48:25
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②干式螺杆真空泵:它是一种不用油类(或液体)密封的变容真空泵。
③液环式真空泵:带有多叶片的转子偏心装在泵壳内,当它旋转时,把液体(通常为水或油)抛向泵壳内形成泵壳同心的环液,环液同转子叶片形成了容积周期性变化的几个小容积,故亦称旋转变容真空泵。
④罗茨真空泵:泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子,转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。它属于旋转变容真空泵。机械增压泵即为这种形式的真空泵。
动量传输泵:这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给气体或气体分子,使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。具体可分为下述几种类型。
真空泵的工作压强 | 真空泵的工作压强单位是Pa,它是指对应抽气量 的入口压强。在此压强下,泵能连续工作而不恶化或损坏。 |
真空泵的压缩比 | 压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。 |
真空泵的何氏系数 | 泵抽气通道面积上的实际抽速 与该处按分子泻流计算的理论抽速 之比。 |
真空泵的抽速系数 | 泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。 |
真空泵的返流率 | 泵的返流率 单位是g/cm2.s。它是指 泵按规定条件工作时,通过泵入口单位面积的泵流质量流率。 |
水蒸气允许量 | 水蒸气 的允许量单位是kg/h,它是指泵在正常环境条件下,气镇泵 在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。 |
允许水蒸气入口压强 |
允许水蒸气入口压强 单位是Pa。它是指 在正常环境条件下,气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的入口压强。
真空的定义 真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态 真空度 处于真空状态下的气体稀簿程度,通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示真空度“差”的意思。 真空度单位 通常用托(Torr)为单位,国际上取用帕(Pa)作为单位。 1托=1/760大气压=1毫米柱 托与帕的转换 1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3托 平均自由程 作无规则热运动的气体粒子,相继两次碰撞所飞越的平均距离,用符号“λ”表示。
罗茨转子由0°到360°的抽气过程。在0°位置时(图a),进排气道关闭,吸气腔与排气腔沟通,泵腔内压力均衡相等。当两个转子旋转到50°时(图b),形成负压腔,进气道打开,正压腔压力逐渐提高。工作过程中,此位置是转子正好处于换向泵腔压力平衡的瞬间,转子从该位置再转过一定角度,则转子开始密封分割为吸气腔与压缩排气腔两部分,此时开始做功。此位置进气口打开,随着转子的继续旋转负压腔容积逐渐增大开始吸气,排气腔容积逐渐减小,由于排气口尚未打开,因此气体被压缩,压缩量随排气口上线位置的变化而变化。当转子旋转到155°时,此时负压腔继续进气,排气道打开,开始排气。此位置时泵的吸气做功继续进行,排气口开始打开,被压缩的气体快速排入下一级泵腔。当转子旋转到312°时,进排气口关闭。此位置转子做功以完成一个周期,此时泵腔内压力逐渐***均衡状态。(图d)此位置又回到初始位置,随着泵转子的连续旋转,吸气和排气过程循环进行,实现了泵的连续抽气做功,实现了抽真空的目的。转子没转一周,吸气和排气各进行一次。
(3)罗茨泵配置水环泵为前级 罗茨泵~水环泵机组,水环泵抽速选择根据经验确定,即 Ss=(1/3 ~1/5)SL 式中,Ss——前级泵的抽速,L/s; SL——罗茨泵的抽速,L/s。 (4)罗茨泵串联机组 用于较高真空度的罗茨泵不能直接排大气,因此串联二级的罗茨泵仍需要一个机械泵或水环泵后级。 罗茨泵串联机组,有两种配置方式,其一是罗茨泵—罗茨泵—机械泵;其二是罗茨泵—罗茨泵—水环泵。两种方式均是以一罗茨泵为主泵,而另一罗茨泵为前级,两罗茨泵抽速关系由经验确定,即 SjL=(1/2 ~1/4)SL 式中,SjL——前级罗茨泵的抽速,L/s;
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