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日本爱发科真空泵出售来电咨询「在线咨询」

发布时间:2020-07-28 11:38:17        







广州捷恩机电科技有限公司:***销售德国BUSCH(普旭、博世)、德国LEYBOLD(莱宝)、德国RIETSCHLE(里其乐、伟力)、德国BECKER(贝克)、英国(爱德华) 。日本ULVAC爱发科。进口真空泵以及真空泵配件、原装进口真空泵油。并提供***的维修、***、检测、技术参数、调试、安装及真空系统***维修等高质量的服务。日本爱发科真空泵出售服务***






分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的***。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。

国外干泵市场的不断增长,其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa~10-2Pa,抽速从20m3/h~500m3/h。





电阻真空计 利用加热元件的电阻与温度有关,元件的温度又与气体传导有关的原理,通过电桥电路来测量真空度的真空计。
麦克劳真空计 也成为压缩式真空计,将待测的气体用(或油)压缩到一体积,然后比较开管和闭管的液柱差,利用玻义尔定律直接算出气体压强的一种真空计。
电容薄膜真空计 这是一种阴极与收集极倒置的热阴极电离规。收集极是一根细丝,放在栅网中心,灯丝放在栅网外面,因而减少软X射线影响,延伸测量下限,可测超高真空。电容薄膜真空计将三种不同的规管综合在个小型经济的规管中,测量过程压强和基本压强从5x10-10至1500毫巴。电容薄膜真空计由于具有测量精度高、动态响应快、测量结果与气体成分无关以及抗腐蚀、耐气压冲击等一系列优点,因而越来越受到人们的重视。以它取代压力计、油压计、电阻真空计、热偶真空计以至部分地取代电离计。

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常规水环真空泵的决压是3300Pa,也就是-0.097Mpa,罗茨真空泵我记得好像是是-0.06Mpa左右,水环真空泵的真空度是高于罗茨真空泵的。
水环真空泵和罗茨真空泵比较的话有一个缺点是在同等电机功率,低真空度的时候罗茨真空泵的抽气量远远大于水环真空泵,但是当真空度达到-0.05Mpa以上的时候,双方的抽气量就差不多了
水环泵的优点是泵可以进入少量的水,运转噪音远远小于罗茨真空泵,结构简单维修方便

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么是水泵的汽蚀现象以及其产生原因?

1、汽蚀
液体在一定温度下,降低压力至该温度下的汽化压力时,液体便产生汽泡。把这种产生气泡的现象称为汽蚀。


2、汽蚀溃灭
汽蚀时产生的气泡,流动到高压处时,其体积减小以致破灭。这种由于压力上升气泡消失在液体中的现象称为汽蚀溃灭。


3、产生汽蚀的原因及危害
泵在运转中,若其过流部分的局部区域(通常是叶轮叶片进口稍后的某处)因为某种原因,抽送液体的压力降低到当时温度下的液体汽化压力时,液体便在该处开始汽化,产生大量蒸汽,形成气泡,当含有大量气泡的液体向前经叶轮内的高压区时,气泡周围的高压液体致使气泡急剧地缩小以至。潜水泵在气泡凝结的同时,液体质点以很高的速度填充空穴,在此瞬间产生很强烈的水击作用,并以很高的冲击频率打击金属表面冲击应力可达几百至几千个大气压,冲击频率可达每秒几万次,严重时会将壁厚击穿。




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